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F2000 MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小，同时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本的优点。该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容积小），能够提供超低的功耗和快速的响应时间。
产品主要应用在分析仪器、使用前级真空的封闭系统的检漏、半导体设备、真空包装机、便携式数字真空计、小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度、低成本真空开关来验证1托以下的真空度。
